גנרטור ואקום של שבב יחיד CTA (B) -B עם שתי יציאות מדידה

ניתוח ביצועי היניקה של מחולל ואקום

1. פרמטרי הביצועים העיקריים של מחולל ואקום

① צריכת אוויר: מתייחס לזרימה QV1 הזורמת מהזרבובית.

② קצב זרימת היניקה: מתייחס לקצב זרימת האוויר Qv2 שנשאף מיציאת היניקה. כאשר יציאת היניקה פתוחה לאטמוספרה, קצב זרימת היניקה שלו הוא הגדול ביותר, המכונה קצב זרימת היניקה המרבי Qv2max.

③ לחץ ביציאת היניקה: נרשם כ- PV. כאשר יציאת היניקה סגורה לחלוטין (למשל דיסק היניקה מוצץ את חומר העבודה), כלומר, כאשר זרימת היניקה היא אפס, הלחץ ביציאת היניקה הוא הנמוך ביותר, שנרשם כ- pvmin.

זמן תגובת יניקה זמן: זמן תגובת יניקה הוא פרמטר חשוב המציין את ביצועי העבודה של מחולל ואקום, המתייחס לזמן מפתיחת שסתום ההיפוך ועד להגיע לתואר אבק הכרחי בלולאת המערכת.

2. גורמים עיקריים המשפיעים על הביצועים של מחולל אבק

הביצועים של מחולל ואקום קשורים לגורמים רבים, כמו קוטר המינימום של הזרבובית, צורת וקוטר התכווצות וצינור הדיפוזיה, מיקומו המתאים ולחץ מקור הגז. איור 2 הוא גרף המציג את הקשר בין לחץ כניסת היניקה, קצב זרימת היניקה, צריכת האוויר ולחץ האספקה ​​של מחולל ואקום. זה מראה שכאשר לחץ האספקה ​​מגיע לערך מסוים, לחץ כניסת היניקה נמוך ואז קצב זרימת היניקה מגיע למקסימום. כאשר לחץ האספקה ​​ממשיך לעלות, לחץ כניסת היניקה עולה ואז קצב זרימת היניקה יורד.

① ניתוח אופייני של זרימת יניקה מקסימאלית QV2MAX: המאפיין QV2MAX האידיאלי של מחולל ואקום מחייב ש- QV2MAX יהיה בערך המרבי בטווח לחץ האספקה ​​הנפוץ (P01 = 0.4-0.5 מגפ"ס) ומשתנה בצורה חלקה עם P01.

(2) ניתוח אופייני של הלחץ PV ביציאת היניקה: PV אידיאלי המאפיין את מחולל הוואקום מחייב שה- PV יהיה בערך המינימלי בטווח לחץ האספקה ​​הנפוץ (P01 = 0.4-0.5 MPa) ומשתנה בצורה חלקה עם PV1.

(3) בתנאי שרעש כניסת היניקה סגור לחלוטין, הקשר בין הלחץ PV בכניסת היניקה לבין קצב זרימת היניקה בתנאים ספציפיים מוצג באיור 3. על מנת להשיג קשר התאמה אידיאלי בין הלחץ בכניסת היניקה לבין קצב זרימת היניקה, ניתן לתכנן מחוללי אבק רב -סיביים לשילוב בסדרות.