החל על פאסאט דלק חיישן לחץ רכבת משותף 06E906051K

1. שיטה ליצירת חיישן לחץ, הכוללת:

מתן מצע מוליך למחצה, בו נוצרים שכבה דיאלקטרית ראשונה בין שכבה ראשונה ושכבה דיאלקטרית בין שכבתית שנייה על המצע המוליך למחצה.

צלחת אלקטרודה תחתונה בשכבה הדיאלקטרית הבין -שכבית הראשונה, אלקטרודה הדדית ראשונה הממוקמת על אותה שכבה כמו צלחת האלקטרודה התחתונה ומרווחת זה מזה.

חיבור שכבות;

יוצרים שכבת הקרבה מעל צלחת הקוטב התחתונה;

יוצרים צלחת אלקטרודה עליונה בשכבה הדיאלקטרית הבין -שכבתית הראשונה, שכבת החיבור הראשונה ושכבת ההקרבה;

לאחר יצירת שכבת ההקרבה ולפני יצירת הצלחת העליונה, בשכבת החיבור הראשונה

יצירת חריץ חיבור ומילוי חריץ החיבור בצלחת העליונה כדי להתחבר באופן חשמלי לשכבת החיבור הראשונה; אוֹ,

לאחר יצירת צלחת האלקטרודה העליונה, נוצרים חריצים חיבור בצלחת האלקטרודה העליונה ובשכבת החיבור הראשונה, אשר

יצירת שכבה מוליכה המחברת בין צלחת האלקטרודה העליונה ושכבת החיבור הראשונה בחריץ החיבור;

לאחר חיבור חשמלי של הצלחת העליונה ואת שכבת החיבור הראשונה, הסרת שכבת ההקרבה ליצירת חלל.

2. השיטה ליצירת חיישן לחץ על פי טענה 1, בה בשכבה הראשונה

השיטה ליצירת שכבת ההקרבה בשכבה הדיאלקטרית הבין -שכבתית כוללת את הצעדים הבאים:

הפקדת שכבת חומר הקרבה על השכבה הדיאלקטרית הבין -שכבית הראשונה;

דופק את שכבת החומר ההקרבה ליצירת שכבת הקרבה.

3. השיטה ליצירת חיישן הלחץ לפי טענה 2, בה משתמשים בפוטוליטוגרפיה וחריטה.

שכבת חומר ההקרבה מעוצבת על ידי תהליך תחריט.

4. השיטה ליצירת חיישן לחץ על פי טענה 3, בה שכבת ההקרבה

החומר הוא פחמן אמורפי או גרמניום.

5. השיטה ליצירת חיישן לחץ לפי טענה 4, בה שכבת ההקרבה

החומר הוא פחמן אמורפי;

גזי תחריט המשמשים בתהליך תחריט שכבת החומר ההקרבה כוללים O2, CO, N2 ו- AR;

הפרמטרים בתהליך תחריט שכבת החומר ההקרבה הם: טווח הזרימה של O2 הוא 18 SCCM ~ 22 SCCM, וקצב הזרימה של CO הוא 10%.

קצב הזרימה נע בין 90 SCCM ל- 110 SCCM, קצב הזרימה של N2 נע בין 90 SCCM ל- 110 SCCM וקצב הזרימה של AR.

הטווח הוא 90 SCCM ~ 110 SCCM, טווח הלחץ הוא 90 mTOR ~ 110 mTOR, וכוח ההטיה הוא

540W ～ 660W。