חל על חיישן לחץ מסילה משותפת של פאסאט דלק 06E906051K

1. שיטה ליצירת חיישן לחץ, הכוללת:

אספקת מצע מוליכים למחצה, שבו נוצרות על מצע המוליך למחצה שכבה דיאלקטרית בין-שכבתית ראשונה, שכבה דיאלקטרית בין-שכבתית ראשונה ושכבה דיאלקטרית בין-שכבתית שנייה.

פלטת אלקטרודה תחתונה בשכבה הדיאלקטרית הבין-שכבתית הראשונה, אלקטרודה הדדית ראשונה הממוקמת על אותה שכבה כמו לוחית האלקטרודה התחתונה ומרוחקת זו מזו.

שכבות מחברות;

יצירת שכבת קורבן מעל הצלחת הקוטבית התחתונה;

יצירת פלטת אלקטרודה עליונה על השכבה הדיאלקטרית הבין-שכבתית הראשונה, שכבת החיבור הראשונה ושכבת ההקרבה;

לאחר יצירת שכבת הקורבן ולפני יצירת הצלחת העליונה, בשכבת החיבור הראשונה

יצירת חריץ חיבור, ומילוי חריץ החיבור עם הפלטה העליונה לחיבור חשמלי עם שכבת החיבור הראשונה; אוֹ,

לאחר יצירת פלטת האלקטרודה העליונה, נוצרים חריצים מחברים בפלטת האלקטרודה העליונה ובשכבת החיבור הראשונה, אשר

יצירת שכבה מוליכה המחברת בין צלחת האלקטרודה העליונה לבין שכבת החיבור הראשונה בחריץ החיבור;

לאחר חיבור חשמלי של הצלחת העליונה ושכבת החיבור הראשונה, הסרת שכבת הקורבן ליצירת חלל.

2. השיטה ליצירת חיישן לחץ לפי תביעה 1, כאשר בשכבה הראשונה

השיטה ליצירת שכבת ההקרבה על השכבה הדיאלקטרית הבין-שכבתית כוללת את השלבים הבאים:

הפקדת שכבת חומר קורבן על השכבה הדיאלקטרית הבין-שכבתית הראשונה;

דפוס שכבת חומר ההקרבה ליצירת שכבת קורבן.

3. השיטה ליצירת חיישן הלחץ לפי תביעה 2, בה משתמשים בפוטוליתוגרפיה וחריטה.

שכבת חומר ההקרבה מעוצבת על ידי תהליך תחריט.

4. השיטה ליצירת חיישן לחץ לפי תביעה 3, שבה שכבת ההקרבה

החומר הוא פחמן אמורפי או גרמניום.

5. השיטה ליצירת חיישן לחץ לפי תביעה 4, שבה שכבת ההקרבה

החומר הוא פחמן אמורפי;

גזי תחריט המשמשים בתהליך חריטת שכבת חומר ההקרבה כוללים O2, CO, N2 ו-Ar;

הפרמטרים בתהליך תחריט של שכבת חומר ההקרבה הם: טווח הזרימה של O2 הוא 18 SCCM ~ 22 SCCM, וקצב הזרימה של CO הוא 10%.

קצב הזרימה נע בין 90 SCCM ל-110 SCCM, קצב הזרימה של N2 נע בין 90 SCCM ל-110 SCCM, וקצב הזרימה של Ar.

הטווח הוא 90 SCCM ~ 110 SCCM, טווח הלחץ הוא 90 mtor ~ 110 mtor, והספק ההטיה הוא

540w ~ 660w.