ניתן לחלק חיישני לחץ מוליכים למחצה לשתי קטגוריות, האחת מבוססת על העיקרון שמאפייני I-υ של צומת PN מוליכים למחצה (או צומת schottky) משתנים תחת לחץ.הביצועים של אלמנט רגיש ללחץ זה מאוד לא יציבים ולא פותחו במיוחד.השני הוא החיישן המבוסס על אפקט piezoresistive של מוליכים למחצה, שהוא המגוון העיקרי של חיישן לחץ מוליכים למחצה.בימים הראשונים, מדי מתח מוליכים למחצה היו מחוברים בעיקר לאלמנטים אלסטיים כדי ליצור מכשירי מדידת מתח ומתח שונים.בשנות ה-60, עם התפתחות טכנולוגיית המעגלים המשולבים מוליכים למחצה, הופיע חיישן לחץ מוליכים למחצה עם נגד דיפוזיה כאלמנט piezoresistive.סוג זה של חיישן לחץ הוא בעל מבנה פשוט ואמין, ללא חלקים נעים יחסית, והאלמנט הרגיש ללחץ והאלמנט האלסטי של החיישן משולבים, מה שמונע עיכוב וזחילה מכאניים ומשפר את ביצועי החיישן.

אפקט פייזוריסטי של מוליך למחצה למוליך למחצה יש מאפיין הקשור לכוח חיצוני, כלומר, ההתנגדות (המיוצגת בסמל ρ) משתנה עם הלחץ שהוא נושא, מה שנקרא אפקט פייזוריסטי.השינוי היחסי של ההתנגדות תחת פעולת מתח היחידה נקרא מקדם פייזוריסטי, אשר מבוטא בסמל π.מבוטא מתמטית כמו ρ/ρ = π σ.

כאשר σ מייצג מתח.השינוי של ערך ההתנגדות (R/R) הנגרם על ידי התנגדות מוליכים למחצה במתח נקבע בעיקר על ידי שינוי ההתנגדות, כך שניתן לכתוב את הביטוי של אפקט piezoresistive גם כ-R/R=πσ.

תחת פעולת הכוח החיצוני נוצרים מתח מסוימים (σ) ומתיחה (ε) בגבישים מוליכים למחצה, והקשר ביניהם נקבע על ידי המודולוס של יאנג (Y) של החומר, כלומר Y=σ/ε.

אם האפקט הפייזוריסטי מתבטא על ידי המתח על המוליך למחצה, הוא R/R=Gε.

G נקרא גורם הרגישות של חיישן הלחץ, המייצג את השינוי היחסי של ערך ההתנגדות במתח יחידה.

מקדם פיאזוריסטי או גורם רגישות הוא הפרמטר הפיזי הבסיסי של אפקט פייזוריסטי של מוליכים למחצה.הקשר ביניהם, ממש כמו הקשר בין מתח למתח, נקבע על ידי מודול החומר של יאנג, כלומר g = π y.

בגלל האניזוטרופיה של גבישי מוליכים למחצה בגמישות, המודולוס והמקדם הפייזוריסטי של יאנג משתנים עם כיוון הגביש.עוצמת האפקט הפייזוריסטי של מוליכים למחצה קשורה קשר הדוק להתנגדות של מוליכים למחצה.ככל שההתנגדות נמוכה יותר, גורם הרגישות קטן יותר.ההשפעה ה-piezoresistive של התנגדות דיפוזיה נקבעת על ידי כיוון הגביש וריכוז הטומאה של התנגדות הדיפוזיה.ריכוז הטומאה מתייחס בעיקר לריכוז הטומאה של שכבת הדיפוזיה.