מבנה חיישן פיוזוריסטי

בחיישן זה, רצועת הנגד משולבת על סרעפת הסיליקון המונוקריסטלית על ידי תהליך אינטגרציה לייצור שבב פייזוריסטי סיליקון, והפריפריה של שבב זה נארזת באופן קבוע במעטפת, ומובילי האלקטרודה מובלים החוצה. חיישן לחץ פיאזוריסטי, המכונה גם חיישן לחץ במצב מוצק, שונה ממד מתח דבק, אשר צריך לחוש את הכוח החיצוני בעקיפין דרך אלמנטים רגישים אלסטיים, אך מרגיש ישירות את הלחץ המדוד דרך סרעפת הסיליקון.

צד אחד של סרעפת הסיליקון הוא חלל בלחץ גבוה המתקשר עם הלחץ המדוד, והצד השני הוא חלל בלחץ נמוך המתקשר עם האטמוספרה. באופן כללי, סרעפת הסיליקון מעוצבת כמעגל עם פריפריה קבועה, ויחס הקוטר לעובי הוא בערך 20 ~ 60. ארבע רצועות עמידות לטומאה של טומאה מפוזרות באופן מקומי על סרעפת הסיליקון המעגלית ומחוברים לגשר מלא, שניים מהם נמצאים באזור הלחץ הדחיסה ושני האחרים נמצאים באזור הקליטה, שנמצאים במרכז הסימטריה.

בנוסף, ישנם גם סרעפת סיליקון מרובעת וחיישן עמוד סיליקון. חיישן הגליל הסיליקון עשוי גם רצועות התנגדות על ידי דיפוזיה בכיוון מסוים של מישור גביש של צילינדר הסיליקון, ושתי רצועות מתנגדות למתח מתיחה ושתי רצועות התנגדות לחץ דחיסה יוצרים גשר מלא.

חיישן פיזוריסטי הוא מכשיר שנעשה על ידי התנגדות דיפוזיה על המצע של חומר מוליך למחצה על פי ההשפעה הפיזוריסטית של חומר מוליכים למחצה. המצע שלו יכול לשמש ישירות כחיישן מדידה, והתנגדות הדיפוזיה מחוברת במצע בצורה של גשר.

כאשר המצע מעוות על ידי כוח חיצוני, ערכי ההתנגדות ישתנו והגשר ייצר תפוקה לא מאוזנת תואמת. המצעים (או הסרעפת) המשמשים כחיישנים פיזוריסטיים הם בעיקר פרוסות סיליקון ופליקי גרמניום. חיישנים פיזוריסטיים של סיליקון העשויים פליקי סיליקון כחומרים רגישים משכו יותר ויותר תשומת לב, במיוחד החיישנים הפיזוריסטיים במצב מוצק למדידת לחץ ומהירות הם הנפוצים ביותר.