מתאים לחיישן לחץ שמן Hitachi KM11 EX200-2-3-5

ארבע טכנולוגיות לחץ של חיישן לחץ

1. קיבולי

חיישני לחץ קיבוליים מועדפים בדרך כלל על ידי מספר רב של יישומי OEM מקצועיים. זיהוי שינויי קיבול בין שני משטחים מאפשר לחיישנים אלו לחוש לחץ ורמות ואקום נמוכים במיוחד. בתצורת החיישנים האופיינית שלנו, בית קומפקטי מורכב משני משטחי מתכת מרווחים, מקבילים ומבודדים חשמלית, אחד מהם הוא בעצם דיאפרגמה שיכולה להתכופף מעט בלחץ. משטחים (או צלחות) קבועים אלה מותקנים כך שכיפוף המכלול משנה את הפער ביניהם (למעשה יוצר קבל משתנה). השינוי המתקבל מזוהה על ידי מעגל השוואה ליניארי רגיש עם (או ASIC), אשר מגביר ומוציא אות פרופורציונלי ברמה גבוהה.

2. סוג CVD

שיטת הייצור של אדים כימיים (או "CVD") מחברת שכבת פוליסיליקון לסרעפת נירוסטה ברמה מולקולרית, ובכך מייצרת חיישן עם ביצועי סחיפה מצוינים לטווח ארוך. שיטות ייצור מוליכים למחצה נפוצות לעיבוד אצווה משמשות ליצירת גשרי מד מתח מפוליסיליקון עם ביצועים מצוינים במחיר סביר מאוד. למבנה CVD יש ביצועי עלות מצוינים והוא החיישן הפופולרי ביותר ביישומי OEM.

3. סוג סרט מקרטעת

שקיעת סרט מקרטעת (או "פילם") יכולה ליצור חיישן עם ליניאריות משולבת, היסטרזיס וחזרה מקסימלית. הדיוק יכול להגיע עד 0.08% מהקנה המידה המלא, בעוד שהסחף לטווח ארוך נמוך עד 0.06% מהקנה המידה המלא מדי שנה. ביצועים יוצאי דופן של מכשירי מפתח - חיישן הסרט הדק המקרטע שלנו הוא אוצר בתעשיית חישת הלחץ.

4. סוג MMS

חיישנים אלה משתמשים בסרעפת סיליקון מיקרו-מעובדת (MMS) כדי לזהות שינויי לחץ. דיאפרגמת הסיליקון מבודדת מהמדיום על ידי ה-316SS המלא בשמן, והם מגיבים בסדרה עם לחץ נוזל התהליך. חיישן MMS מאמץ טכנולוגיית ייצור מוליכים למחצה נפוצה, שיכולה להשיג התנגדות מתח גבוהה, ליניאריות טובה, ביצועי הלם תרמי מעולים ויציבות בחבילת חיישנים קומפקטית.